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什么是晶圓?晶圓是制造IC的基本原料

作者:超級管理員    來源:本站    發布時間:2022-07-17 11:01:33    瀏覽量:355

什么是晶圓,制造IC的原料

集成電路(IC)是指在一半導體基板上,利用氧化、蝕刻、擴散等方法,將眾多電子電路組成各式二極管、晶體管等電子組件,做在一個微小面積上,以完成某一特定邏輯功能,達成預先設定好的電路功能要求的電路系統。

晶圓是制造IC的基本原料

硅是由沙子所精練出來的,晶圓便是硅元素加以純化(99.999%),接著是將這些純硅制成長硅晶棒,成為制造積體電路的石英半導體的材料,經過照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。

會聽到幾寸的晶圓廠,如果硅晶圓的直徑越大,代表著這座晶圓廠有較好的技術。

另外,還有scaling技術可以將電晶體與導線的尺寸縮小,這兩種方式都可以在一片晶圓上,制作出更多的硅晶粒,提高品質與降低成本。

這代表6寸、8寸、12寸晶圓當中,12寸晶圓有較高的產能。

當然,生產晶圓的過程當中,良品率是很重要的條件。

晶圓是指硅半導體積體電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能之IC產品。晶圓的原始材料是硅,而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。

二氧化硅礦石經由電弧爐提煉,鹽酸氯化,并經蒸餾后,制成了高純度的多晶硅,其純度高達0.99999999999。

晶圓制造廠再將此多晶硅融解,再于融液內摻入一小粒的硅晶體晶種,然后將其慢慢拉出,以形成圓柱狀的單晶硅晶棒,由于硅晶棒是由一顆小晶粒在熔融態的硅原料中逐漸生成,此過程稱為"長晶"。

硅晶棒再經過研磨,拋光,切片后,即成為積體電路工廠的基本原料——硅晶圓片,這就是"晶圓"。


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